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水环真空泵的实际抽速可根据Qt=Q15K，K＝（P1-Pt）/（P1-P15）计算修正值，其中：

1、Qt-水温为t℃时的气量m3/min Q15-水温为15℃时的气量m3/min。

2、水环真空泵的吸入压力mmHg Pt-水温为t℃时的饱和蒸汽压力mmHg。

3、P15-水温为15℃时的饱和蒸汽压力mmHg K－气量修正系数。

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半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，河南往复真空泵价格，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

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煤气中煤焦油含量应符合TJ28-78城市煤气设计规范的规定。试车时人数不少于两人，一人控制电源，一人观察风机运转情况，发现异常现象立即停机检查；检查旋转方向是否正确；风机开始运转后，应立即检查运转电流是否平衡、电流是否高过额定电流；若不有正常现象，应停机检查。运转五分钟后，停机检查风机是否有异常现象，确认无异常现象再开机运转。在运行水环真空泵时，要注意观察轴承运行的温度，如果温度过高，就要立即停泵，以保护设备。

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