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什么时候需要更换真空泵油：1、闻：在泵的使用过程中闻到的气味时；2、看：①看油的颜色变成青棕色或者是看上去比较发黑时；②看油位表上低于位置时；3、 听：听到有缺油的磨合声时（当然这种情况下会对水环真空泵的伤害很大）。

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半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

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液环泵在工作过程中会产生热量，主要热量包括：真空泵/压缩机的无效功率；吸入气体温度较高带来的热量；吸入气体含有可凝性气体在压缩过程中释放出相变热，换热器的主要作用是通过冷却水冷却工作液，使工作液温度保持在合理的范围内。

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